主要參數(shù)指標(biāo) | ||
元素 | 含量 | 備注 |
氮(N) | < 50 ppb | 采用ERP(電子順磁共振)測(cè)得 |
硼(B) | < 1 ppb | 用 SIMS(二次離子質(zhì)譜儀)測(cè)得 |
碳(13C) | 1.1% | 天然豐度 |
碳(12C) | 98.9% | 天然豐度 |
熱學(xué)性能 | ||
熱導(dǎo)率 | >2000 Wm-1K-1 | |
熱膨脹系數(shù)(300K) | 1.0±0.1 ppm·K-1 | |
熱膨脹系數(shù)(1000K) | 4.4±0.1 ppm·K-1 | |
幾何性能 | ||
標(biāo)準(zhǔn)尺寸 | 2mmx2mm/3mm×3mm | |
標(biāo)準(zhǔn)厚度 | 0.5mm | |
拋光面粗糙度(nm) 上下表面 | Ra< 5 nm | |
拋光面粗糙度(nm) 側(cè)面 | Ra< 100 nm | |
晶體學(xué)取向 | 100,110,111 |